電子無塵車間GMP車間食品無菌車間食品醫(yī)藥包裝車間醫(yī)療器械車間無菌實(shí)驗(yàn)室鋰電池車間簡易房空調(diào)箱其他凈化工程項(xiàng)目潔凈棚凈化門窗凈化工程板材&鋁材凈化工程其他配件凈化工程客戶業(yè)績單人全不銹鋼風(fēng)淋室單人外鋼板內(nèi)不銹鋼風(fēng)淋室單人鋼板烤漆風(fēng)淋室雙人全不銹鋼風(fēng)淋室雙人外鋼板內(nèi)不銹鋼風(fēng)淋室雙人鋼板烤漆風(fēng)淋室自動(dòng)感應(yīng)移門風(fēng)淋室快速卷簾門貨淋室防碰撞快速卷簾門L型轉(zhuǎn)角風(fēng)淋室防爆風(fēng)淋室門禁卡風(fēng)淋室凈化車間多人風(fēng)淋通道不間斷通行風(fēng)淋室噴霧水淋室汽車涂裝風(fēng)淋室流水線貨淋室手動(dòng)雙開門貨淋室吹塵室風(fēng)淋室客戶業(yè)績表單人水平超凈工作臺(tái)單人垂直超凈工作臺(tái)雙人水平超凈工作臺(tái)雙人垂直超凈工作臺(tái)桌上型超凈工作臺(tái)光學(xué)(內(nèi)黑)超凈工作臺(tái)不銹鋼超凈工作臺(tái)除塵臺(tái)百級(jí)潔凈柜企業(yè)新聞常見問題企業(yè)報(bào)道全部產(chǎn)品凈化工程/無塵室/潔凈車間風(fēng)淋室/貨淋室/貨淋通道超凈工作臺(tái)/潔凈工作臺(tái)潔凈傳遞窗風(fēng)幕機(jī)臭氧發(fā)生器百級(jí)層流罩潔凈采樣車/取樣車FFU產(chǎn)品不銹鋼水槽水槽周邊產(chǎn)品潔凈衣柜、鞋柜空氣凈化器有隔板高效過濾器無隔板高效過濾器邊液槽式高效過濾器低液槽式高效過濾器板式初效過濾器袋式初效過濾器過濾器一凈簡介周董致辭一凈品牌一凈文化一凈榮譽(yù)一凈視頻生產(chǎn)能力服務(wù)全球招聘人才
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半導(dǎo)體、電子潔凈廠房設(shè)計(jì)與施工要求

來源:無錫一凈凈化設(shè)備有限公司作者:無錫一凈網(wǎng)址:http://www.qlmsg.com瀏覽數(shù):2378 

凈化車間的空氣潔凈度級(jí)別等級(jí).jpg

這個(gè)表格是我們半導(dǎo)體制造一些工藝生產(chǎn)過程的潔凈等級(jí)要求,要求一般的是光照制造,還有微環(huán)境,其他的一些大的區(qū)域,包括薄膜等在百級(jí)。潔凈度的要求是不是越高越好,這個(gè)主要還是決定我們的設(shè)計(jì),或者對生產(chǎn)的要求,潔凈度越高意味著FFU覆蓋率會(huì)成倍的增加。目前對一些潔凈室的設(shè)計(jì)還是大環(huán)境,不需要很高的潔凈度。還有濕度控制,濕度控制主要通過循環(huán)通氣冷卻系統(tǒng),去除潔凈室循環(huán)空氣的顯熱,最終控制潔凈室溫度。濕度控制主要通過新風(fēng)控制箱進(jìn)行控制,溫度的控制目的有兩個(gè),首先是人員的舒適性,溫度在21-23度都沒有問題,作為制程來說我們關(guān)注的是波動(dòng)性??刂茲崈舴康臐穸戎饕康氖菨穸冗^低將容易產(chǎn)生靜電、濕度過高,對產(chǎn)品的影響。第二點(diǎn)是正壓,通過潔凈室內(nèi)的壓力傳感器控制MAU風(fēng)機(jī)的頻率改變送風(fēng)量保持潔凈室的設(shè)定正壓,靜壓層保持微正壓。

再來就是照度和噪聲,這個(gè)部分在新的標(biāo)準(zhǔn)里面有詳細(xì)的描述,這里不具體講了。因?yàn)楝F(xiàn)在半導(dǎo)體制造設(shè)備尺寸越來越大,安裝起來一部分照明會(huì)被遮掩,噪聲的問題比較難解決,主要在設(shè)備選型的時(shí)候注意。接下來是靜電控制的問題(ESD),這個(gè)本身會(huì)造成產(chǎn)品的損害或者設(shè)備的損害,半導(dǎo)體有ESD的標(biāo)準(zhǔn)。

無錫一凈凈化設(shè)備有限公司在各產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域工程建設(shè)的道路上繼續(xù)堅(jiān)持以科技為向?qū)В再|(zhì)量為準(zhǔn)則,以客戶滿意為宗旨,嚴(yán)格遵守和落實(shí)ISO9001:2000標(biāo)準(zhǔn)、《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》以及專業(yè)規(guī)范要求,全過程項(xiàng)目管控,以項(xiàng)目類型為定調(diào),定制化項(xiàng)目設(shè)計(jì)、實(shí)施的全產(chǎn)業(yè)化流程,解決客戶痛點(diǎn),憑借自身的技術(shù)及經(jīng)驗(yàn)為客戶提供完備的環(huán)境控制工程整體系統(tǒng)集成解決方案的專業(yè)服務(wù)。


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