無塵室空氣流組織的一般要求有哪些？

無塵室是控制空氣懸浮微粒濃度，最主要作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，對無塵室空氣流組織的一般要求如下：

1.送入的潔凈氣流能盡快均勻分布或擴散到整個潔凈區(qū)，以沖淡室內(nèi)污染源散發(fā)的塵和菌對空氣的污染，維持生產(chǎn)環(huán)境所要求的潔凈度。

2.能快捷地把污染源散發(fā)到無塵室的塵和菌從室內(nèi)排走，避免或減少渦流和死角，縮短塵、菌在室內(nèi)滯留時間，以減小與產(chǎn)品接觸的幾率。

3.兼顧室內(nèi)溫、濕度均勻性等空調(diào)送風的要求及工作人員的舒適要求。

由于與一般空調(diào)房間的主要任務不同所以氣流組織的方案也必然有所差異。對于舒適性空調(diào)房間和普通溫、濕度精度的生產(chǎn)車間，考慮其空氣氣流組織方案的基點是采用盡可能大的送風溫差，以便減少送風量，使系統(tǒng)設備、管道都更小，初投資和運行費用更低。所以通常夏季采用機器露點送風。因為送入空氣與室溫溫差大，為避免室內(nèi)生活區(qū)、工作區(qū)溫度不均勻或 有吹冷風、吹熱風的不舒適感。無論是采用側(cè)送風口或是頂送散熱器，都要求其出風有較強的紊流系數(shù)，具有一定的引射能力，以利于吸收了室內(nèi)熱濕負荷的空氣被卷吸及摻混到送風氣流中，使送風氣流的溫、濕度盡快地接近于室內(nèi)設計溫、濕度。當送風氣流以回流的狀態(tài)進入生活區(qū)、工作區(qū)時，其溫、濕度從工藝要求來看，已進入控制精度范圍；從人的感受來說也是柔和可以接受的。

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