超凈制造環(huán)境

超凈制造環(huán)境是制造特別清潔的環(huán)境以生產(chǎn)各類高技術(shù)產(chǎn)品或進(jìn)行高技術(shù)研究的生產(chǎn)環(huán)境。環(huán)境空氣中塵埃的多少是其潔凈程度的標(biāo)志，以“級”表示。每一立方英尺空間內(nèi)含有10萬個(gè)0.5微米以上的塵埃稱為10萬級潔凈度。通常工業(yè)區(qū)的大氣塵埃為***，空氣極端潔凈的田園為***。半導(dǎo)體材料、元件和集成電路的生產(chǎn)，精密機(jī)械，例如人造衛(wèi)星、彩色顯像管、微型軸承、光盤存儲(chǔ)器等，以及生物工程，例如基因重組、傳染病的生物防治、疑難病癥的手術(shù)與治療等均需在不同程度的潔凈室內(nèi)進(jìn)行。

現(xiàn)以集成電路為例加以說明。16K位芯片的制造要求1000級環(huán)境，64K位芯片為100級，而256K位芯片則要求10級。由此看，集成化程度越高，對潔凈度的要求越嚴(yán)格?？刂茲崈羰覂?nèi)塵埃的方法，一般采用玻璃纖維制作的高性能空氣濾清器、高能性空調(diào)器和純水制造裝置，還需要使用機(jī)器磨損產(chǎn)生塵埃的特殊處理技術(shù)。此外工作人員的服裝材料及洗滌方法也需特殊選擇。

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