常見問題解答
常見問題解答 已解決 |
電子無塵電子無塵車間生產(chǎn)的產(chǎn)品都是很精細(xì)的東西,一個(gè)小的灰塵就會(huì)讓這個(gè)電子器件短路或者直接報(bào)廢的,所以電子廠跟半導(dǎo)體廠都是要求做電子無塵車間的,還需要恒溫恒濕的狀態(tài)。 電子行業(yè)對(duì)于電子無塵車間的要求:無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室、無塵室,電子無塵工廠生產(chǎn)工藝有集成電路等分類眾多。由于電子無塵車間生產(chǎn)工藝種類繁多,對(duì)潔凈度等級(jí)要求也不同,高的很高,低的很低;對(duì)粒子粒徑控制的要求也不同,范圍約為0.1-5um;對(duì)溫濕度控制的要求相對(duì)較高,如集成電路前道工序一般要求室內(nèi)溫度基數(shù)為22℃(精度±0.1至±1℃),相對(duì)濕度基數(shù)為40%(精度±2至±5℃);正壓值要求的梯度級(jí)別,隨著潔凈度的變化而從高到低變化,差值5-10Pa。 電子無塵車間的冷負(fù)荷比其他行業(yè)的無塵車間大很多,單位冷負(fù)荷達(dá)400-500W/㎡很常見。由于冷負(fù)荷大,一般情況下,冬季也需要供冷,這是電子行業(yè)的特點(diǎn)。 電子行業(yè)電子無塵廠房生產(chǎn)工藝過程產(chǎn)生的有毒有害氣體種類繁多,且量也大,所以需要的排風(fēng)量和新風(fēng)量也大。新排風(fēng)的節(jié)能措施也是行業(yè)特點(diǎn)之一,排放前要做處理,使排風(fēng)符合環(huán)保要求。 另外電子行業(yè)電子無塵廠房生產(chǎn)工藝有抗靜電、抗微振的要求,并且大宗氣體和特種氣體種類多,對(duì)純度和潔凈度要求也是很高的。 |