常見問題解答
常見問題解答 已解決 |
無塵室的分類1. 亂流式:空氣由空調(diào)機(jī)箱經(jīng)風(fēng)管和潔凈室內(nèi)的空氣過濾器進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室內(nèi)的回風(fēng)柱或高架地板回風(fēng)。氣流是呈不規(guī)則的亂流或渦流狀態(tài)。此型式適合于潔凈室等級(jí)為:1000-100000級(jí) 2.層流式:空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻的直線形,空氣由覆蓋率的過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)回風(fēng)柱回風(fēng),此型式適合于級(jí)別比較高的潔凈室 3.復(fù)合式:復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。潔凈隧道以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式 如果您在無塵室方面有疑問或者業(yè)務(wù)需要,您可以咨詢我們,我們將給您專業(yè)細(xì)致的服務(wù)。 關(guān)鍵詞:凈化工程,無塵室,潔凈室 上一篇: 風(fēng)淋室的發(fā)展方向
|