無塵室的分類

1. 亂流式：空氣由空調(diào)機(jī)箱經(jīng)風(fēng)管和潔凈室內(nèi)的空氣過濾器進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室內(nèi)的回風(fēng)柱或高架地板回風(fēng)。氣流是呈不規(guī)則的亂流或渦流狀態(tài)。此型式適合于潔凈室等級(jí)為：1000-100000級(jí)

2.層流式：空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻的直線形，空氣由覆蓋率的過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)回風(fēng)柱回風(fēng)，此型式適合于級(jí)別比較高的潔凈室

3.復(fù)合式：復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。潔凈隧道以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式

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關(guān)鍵詞：凈化工程，無塵室，潔凈室