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電子行業(yè)對于無塵車間的要求

來源:無錫一凈凈化設(shè)備有限公司作者:無錫一凈網(wǎng)址:http://www.qlmsg.com瀏覽數(shù):570 

電子行業(yè)對于無塵車間的要求:無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室、無塵室,電子工廠生產(chǎn)工藝分類眾多,有集成電路生產(chǎn)(分為光掩膜、前道工序、后道工序),平南顯示器生產(chǎn)(分為LCD,PDP,TFT,VFD,顯像管),硅材料 生產(chǎn)(單晶硅、多晶硅),光纖生產(chǎn),制卡業(yè),表面貼裝(SMT),分離器件生產(chǎn)(功率一、二、三級管,電容、電阻),整機組裝生產(chǎn)(機頂盒、數(shù)字投影儀、電子數(shù)碼相機),自控元器件生產(chǎn)(傳感器、執(zhí)行機構(gòu))等。

由于生產(chǎn)工藝種類繁多,對潔凈度等級要求也不同,高的很高,低的很低;對粒子粒徑控制的要求也不同,范圍約為0.1~5um;對溫濕度控制的要求相對較 高,如集成電路前道工序一般要求室內(nèi)溫度基數(shù)為22℃(精度±0.1~±1℃),相對濕度基數(shù)為40%(精度±2~±5℃;正壓值要求的梯度級別,隨著潔凈度的變化而從高到低變化,差值5~10Pa。

電子行業(yè)無塵車間的冷負(fù)荷比其他行業(yè)的無塵車間大很多,單位冷負(fù)荷達(dá)400~500W/㎡很常見。由于冷負(fù)荷大,一般情況下,冬季也需要供冷,這是電子行業(yè)的特點。

電子行業(yè)生產(chǎn)工藝過程產(chǎn)生的有毒有害氣體種類繁多,且量也大,所以需要的排風(fēng)量和新風(fēng)量也大。新排風(fēng)的節(jié)能措施也是行業(yè)特點之一,排放前要做處理,使排風(fēng)負(fù)荷環(huán)保要求。

新形勢下潔凈室技術(shù)的發(fā)展方向3.jpg

電子行業(yè)生產(chǎn)工藝有抗靜電、抗微振的要求,并且大宗氣體和特種氣體種類多,對純度和潔凈度要求高:

1.電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)

2.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。

3.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa

4.電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的**值:

5.補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

6.保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。


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