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潔凈室溫濕度多少比較合適?瀏覽數(shù):2721次
潔凈室可以把溫度和濕度控制到合適的范圍內(nèi),那么潔凈室濕度多少比較合適呢?不跟小編一起來看看吧。 潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。 在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。 相對(duì)濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。 此外,濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)**濕度范圍為35—45%。 凈化工程、風(fēng)淋室、超凈工作臺(tái)請(qǐng)咨詢無錫一凈【銷售熱線:0510-83575883,13771551888】無錫一凈凈化設(shè)備有限公司是一家專業(yè)從事食品無菌車間、GMP車間、電子無塵車間、食品醫(yī)藥包裝車間、醫(yī)療器械車間、潔凈棚、土建工程簡(jiǎn)易房、無菌實(shí)驗(yàn)室、組合式空調(diào)機(jī)組等項(xiàng)目的設(shè)計(jì)、施工、調(diào)試、安裝為一體的凈化工程公司。同時(shí)生產(chǎn)與銷售風(fēng)淋室、貨淋室、快速卷簾門、超凈工作臺(tái)等凈化設(shè)備。 閱讀過本文的還人還閱讀過:無塵車間濕度多少比較合適?? 無塵車間設(shè)計(jì)要點(diǎn)? 無塵車間需要哪些凈化設(shè)備?? 什么叫亂流潔凈室 上一篇: 層流式凈化工程有哪些特點(diǎn)?
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