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無塵車間濕度多少比較合適?瀏覽數(shù):2575次
無塵車間需要把車間的濕度控制在合理的范圍內(nèi),才能保證產(chǎn)品的合格率和性能。潔凈車間濕度多少比較合適呢?跟小編一起來看看吧。一凈認為無塵車間的濕度選擇,還要具體情況具體分析的。 無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。 例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。 此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)**濕度范圍為35—45%。 凈化工程、風淋室、超凈工作臺請咨詢無錫一凈【銷售熱線:0510-83575883,13771551888】無錫一凈凈化設備有限公司是一家專業(yè)從事食品無菌車間、GMP車間、電子無塵車間、食品醫(yī)藥包裝車間、醫(yī)療器械車間、潔凈棚、土建工程簡易房、無菌實驗室、組合式空調(diào)機組等項目的設計、施工、調(diào)試、安裝為一體的凈化工程公司。同時生產(chǎn)與銷售風淋室、貨淋室、快速卷簾門、超凈工作臺等凈化設備。 閱讀過本文的還人還閱讀過:無塵車間的應用領域? 潔凈室裝修應該注意的細節(jié)問題? 溫度和濕度對潔凈室造價有影響嗎?? 潔凈室的行業(yè)應用 上一篇: 無塵車間設計要點
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